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Akribis-Air智能研磨拋光機
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- 更新時(shí)間:2024-12-05
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
Akribis-Air智能研磨拋光機,具有高度自動(dòng)化的獨立系統,提供了工藝創(chuàng )新,在短時(shí)間內可實(shí)現Z高水平的處理。完整的Akribis-air研磨拋光系統具有智能自動(dòng)化的功能,如盤(pán)面平整度控制、夾具自動(dòng)設置、動(dòng)態(tài)負荷控制、增加控制參數、實(shí)時(shí)數據收集和反饋、計量磨料供應、自動(dòng)清洗功能等。
Akribis-air智能研磨拋光機,具有高度自動(dòng)化的獨立系統,提供了工藝創(chuàng )新,在短時(shí)間內可實(shí)現zui高水平的處理。
Akribis-Air智能研磨拋光機功能:
- 盤(pán)面平整度控制
- 夾具自動(dòng)設置
- 動(dòng)態(tài)負荷控制
- 增加控制參數
- 實(shí)時(shí)數據收集和反饋
- 計量磨料供應
- 自動(dòng)清洗功能
單工作站系統配有400mm的盤(pán),速度為100rpm。當使用LOFITECH的動(dòng)態(tài)負載控制的新智能夾具系統,在廣泛的應用程序中提供快速、可靠和高度準確的結果。LOFITECH的空氣驅動(dòng)智能夾具可用于100毫米和150毫米晶圓處理。
Akribis-air智能研磨拋光機典型應用:
- 硅集成電路、太陽(yáng)能和波導
- III-V族化合物稀釋和拋光
- 藍寶石和發(fā)光二極管
- 碳化硅光學(xué),發(fā)光二極管和電力電子
- 氮化鎵-光學(xué)儀器、激光、射頻高頻
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